炬光科技：晶圆级V型槽已进入规模制造，96通道累计节距误差控制在±0.5μm内

光纤在线对西安炬光科技副总裁、激光光学事业部副总经理田勇进行专访，主题是高通道FAU时代晶圆级同步结构化V型槽技术的工艺、量产与验证体系。 技术原理上，传统机械切割V型槽采用单槽顺序加工，精度受刀具损耗、跳刀精度、温湿度和振动影响；炬光科技的做法是在同一晶圆上同步定义并形成全部光纤定位结构，从工艺原理上避免顺序加工的累积误差。公司称已实现36、48、96通道及更高通道数产品，96通道条件下首根至末根光纤累计节距误差控制在±0.5μm以内，支持60°、90°及定制化V型槽角度，并可在同一产品中实现不同光纤间距、高度以及V型槽、U型槽、凹面凸面定位、堆叠定位等结构。 量产与订单方面，公司表示高通道V型槽已从前期技术验证逐步进入订单增长和规模制造阶段，客户来自FAU、NPO/CPO及其他高密度光互联领域，部分项目完成批量验证并进入持续交付；已获得数百万只高通道V型槽阵列订单，建立月产数十万只的制造能力，可根据客户需求快速扩产。核心制造装备由公司自主开发。同一晶圆级同步结构化平台制造的FAC快轴准直器累计出货超过1.5亿只，平台已历经30余年验证。 检测环节，公司在CIOE推出V-Groove/FAU节距误差测量系统，可测V型槽、FAU及MT连接器。典型配置下支持V型槽和FAU最小40μm节距、最大128通道，MT连接器最小检测节距250μm；测量重复性3σ＜0.1μm，分辨率0.001μm，单通道测量周期小于1秒，具备自动对焦、自动测量、倾斜补偿和自动报告输出。公司称开发初衷是内部质量控制，因现有设备难以评价亚微米级新工艺产品，后延伸至客户IQC来料检测和FAU组装后测量。 业务与市场判断方面，田勇称2026年上半年公司光通信业务收入同比增长215%，业务从客户验证进入订单增长和规模制造阶段。公司上月披露定增预案，拟募集资金约10.21亿元加大光通信布局。产品布局覆盖预制金锡氮化铝衬底材料、单透镜、微透镜阵列、双锥透镜、快慢轴一体化透镜、NxN大尺寸微透镜阵列、微棱镜透镜阵列、高通道密度V型槽阵列及高精度耦合与测试装备。田勇认为高通道化、被动对准和自动化装配是光互联产业的三个方向，V型槽正从标准化基础器件演变为影响下一代光互联性能、良率和成本的基础平台，行业竞争将从单一器件性能转向设计、制造、检测和量产验证的完整工程能力。