Thermco Systems 在华子公司赛慕科：全球卧式炉管装机超3万台，零部件国产化率近85%

第十六届国际纳米技术产业博览会在苏州国际博览中心举行，本届首次设置NanoMall交易展区，聚焦半导体产业国产替代。Thermco Systems在华子公司赛慕科现场以展板形式介绍四条产品线：T-Clean湿法清洗及化学品储存分配、源自CSD Epitaxy收购的外延设备、主力产品LPCVD卧式炉管，以及历经二十年迭代、正导入SPC与预测性维护的控制系统。 赛慕科市场销售总监卫智健介绍，Thermco自1962年创立以来，卧式炉管全球累计装机超过三万根管，服务超过四百家客户，覆盖4至12英寸产线。2023年公司决定在中国设立第三个生产制造基地，上海工厂首先承担卧式炉管的技术转移与本地化生产，目前国内产线零部件数量国产化率已接近85%，部分核心高价值零部件仍采用进口件。从启动本地化制造到首台设备下线历时近三年。 在工艺适配方面，硅光器件所需厚氧化层可达二十微米量级，要求设备在高温下连续运行数周；第三代半导体SiC、GaN的高温退火与激活环节则强调温度控制的稳定与均匀，部分工艺单批装载量可达三百片。面向科研与院校客户，赛慕科推出占地面积小、成本低的X系列迷你炉，配备与产线设备同源的控制系统。 服务层面，售后与技术开发已由中国区团队主导，提供7×24小时值守与当天技术响应，零配件改为中国区自主采购、直接交付。赛慕科中国区共十五人，其中十二人从事研发与服务。卫智健表示，客户对国产设备接受度持续提升，未来重点是把更多成熟产线引入中国生产制造，并推进现有产品线的完全本地化。