凯世通离子注入机八成出货面向头部晶圆厂，大束流机型进入量产

在2026年中国国际工业博览会上，先导基电旗下上海凯世通半导体股份有限公司展出全系列离子注入机及全周期一站式服务方案。离子注入机是半导体前道制造中设备复杂度高、国产化进度相对较晚的品类，目前全球市场仍由美国厂商主导，市占率约90%，日本厂商主要聚焦特色工艺赛道。 凯世通副总经理张长勇介绍，公司整机装备从国内龙头晶圆厂开始导入，覆盖先进逻辑与存储头部企业，工艺节点覆盖国内主流及先进工艺产线，头部晶圆厂等大厂在客户结构中占比约80%。设备直接进入晶圆厂量产线，首台机台需经过严格验证，早期验证周期常以年为单位，目前验证时间正在缩短。低能大束流离子注入机系列已进入批量重复订单的快速增长阶段，在一条几万片的晶圆生产线上，单一系列设备出货量超过十台即属较大应用规模。 凯世通累计服务超14条重点集成电路产线，核心机型已批量进入头部晶圆厂量产线运行。与部分厂商通过并购横向扩展不同，凯世通选择垂直一体化模式，在控股股东先导基电与先导科技集团支持下建立从材料、元器件、零部件到系统整机的链条，解决静电卡盘、流量计等关键零部件的供应链安全问题，设备供应链国产化率达到90%以上。针对国产零部件寿命与可靠性仍与进口件存在差距的现状，公司正围绕阀门、MFC、真空相关零部件等做工程化改良。 在软件与控制系统层面，凯世通于去年底组建独立AI部门，将算法用于辅助工况调优和预测性故障预警两大场景，以提升设备生产效能与工艺能力。 张长勇表示下一阶段分三步走：全面满足国内逻辑、存储、CIS、碳化硅等领域对离子注入机的需求；延伸到零部件领域，争取关键零部件100%国产化，并为客户既有进口设备提供维保和零配件供应；深化与晶圆厂协同，在早期工艺研发阶段参与新功能与新产品开发。