凯世通大束流离子注入机进入量产

凯世通副总经理张长勇在工博会上称，公司低能大束流离子注入机系列已进入批量重复订单阶段，即该机型实现量产。 张长勇称，凯世通离子注入机客户中头部晶圆厂占比约80%，公司累计服务超14条重点集成电路产线，设备供应链国产化率超过90%。凯世通还于去年底组建独立AI部门，用于工况调优和预测性故障预警。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。